，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3

、采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)。

4

、強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到佳溫度控制精度。