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大多數(shù)測試標準關于高效過濾器泄漏率的接受標準是

，可接受的泄漏限度最終由客戶和供應商共同確定

。但是，對于使用HEPA過濾器或不同級別潔凈區(qū)的許多應用

，大多數(shù)采用≤0.01％的掃描測試泄漏標準

。盡管0.01％的泄漏率在歷史上已經(jīng)使用過，并且其起源與早期的模擬光度計測試設備相關聯(lián)

，但在沒有進行科學和基于風險的評估的情況下

，將0.01％的泄漏率標準作為可接受標準將導致與泄漏測試有關的問題，并且如果在低風險區(qū)域發(fā)現(xiàn)超限或失敗情況

，將可能會帶來巨大的運營成本

。過濾器不是100％截留的，并且預計MPPS附近的粒子在過濾器局部或整體可以穿透

。當使用較低級別的HEPA過濾器時

，工廠進行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率標準可能等于或大于現(xiàn)場泄漏率測試的接受標準，測試接受標準會變得更具爭議和困難。在可能發(fā)生泄漏的地方尤其如此

。因此

，在購買過濾器時，考慮過濾器的等級以及安裝后如何進行測試非常重要

，以避免不必要的現(xiàn)場測試失敗

。

ISO 14644-3 [33]提供了有關如何實施泄漏替代標準的指南。在基于風險的方法中

，理想的接受標準是

，該接受標準可以反映所使用過濾器的效率或所測試房間的潔凈度。 ISO 14644-3使用工廠過濾效率等級作為接受標準協(xié)商的基礎

。光度計泄漏測試和基于粒子計數(shù)器的泄漏測試的泄漏接受標準應該相同

，因為兩種方法背后的理論和方法是相同的。如果執(zhí)行得當

，使用光度計和粒子計數(shù)器進行的泄漏測試將得到相同的泄漏率結果（Meek等

，2011 [121]）

。

如果檢測到的泄漏量超過上游濃度的0.01％

，一般認為該泄漏率超過最大允許標準。但是

，對于整體效率MPPS≥99.95％且小于99,995％的過濾器系統(tǒng)（如H13過濾器）

，接受標準為0.1％。

如果要測試 MPPS 整體效率低于 99.95% 的過濾系統(tǒng)

，則根據(jù)客戶和供應商之間的協(xié)議

，需要不一樣的接受標準。

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